PVD&RPD光伏上下料機是HJT電池制備TCO導電膜工藝中的上下料設備，PVD制備TCO導電膜為雙面鍍膜，是HJT的第三道工序，對于精度的要求較高。載板與硅片的間隙理論精度0.1mm，實際在0.2mm以內就能滿足要求。上下料機通過皮帶傳輸硅片至夾具取片位，夾具夾持硅片后將硅片放入載板儲片槽內，再將裝滿硅片的載板送入工藝腔內鍍膜沉積。由于皮帶打滑或其它因素會導致傳輸硅片過程中存在位置差異，導致硅片不能精準放入載板儲片槽內，需要對硅片進行對位糾偏處理。
01
設備痛點
01
糾偏CT難以提升，調試周期長
目前國內設備節拍基本處于1.8秒以上，客戶期望突破0.7秒，且載板與硅片精度＜±0.15mm，增加業內競爭力。
02
空間緊湊接線繁瑣，焊線及排查故障難
驅動器和網線數量多，絕對值電池盒較大且焊線難度高，占電柜空間且人工+線材成本高；客戶希望省空間省時省力。
03
整套成本高
糾偏軸數多，整體成本偏高，客戶希望具有高性價比。
02
解決方案
01
一次對位糾偏技術
通過一次對位糾偏技術，將原先的2次拍照，2次糾偏，優化為1次拍照，1次糾偏，減少對位平臺XYθ動作次數，大大提升設備節拍。
通過一次拍照獲得的數據進行處理，分別計算得出角度糾偏值，及角度糾偏后帶來的XY二次偏移值，按糾偏結構進行動作分解后，依次進行角度糾偏與XY糾偏。
02
雷賽HJT對位平臺糾偏控制系統方案架構
03
雷賽方案優勢及價值
1
綜合成本節省75%
2
整套方案更高效
3
安裝空間節省50%以上
4
主控帶軸能力更強
04
雷賽HJT-PVD&RPD整套控制系統方案架構
